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慣性測量單元(IMU),昔日導(dǎo)航“心臟”已成為智能生活的明日之星 發(fā)布時(shí)間:2018-04-08   瀏覽量:4606次

IMU,Inertial Measurement Unit,即慣性測量單元。如今IMU已不僅限于專業(yè)導(dǎo)航中使用,其應(yīng)用范圍涉獵廣泛:遠(yuǎn)至軍事防御、航空航天、海事等領(lǐng)域,近至日常的微信定位、智能手機(jī)、汽車/火車、無人駕駛、智能家居等方面均會(huì)使用。


基于傳統(tǒng)慣性器件的特點(diǎn),將MEMS與之結(jié)合可極大地改善傳統(tǒng)慣性器件的缺點(diǎn)。MEMS是將微電子技術(shù)和機(jī)械工程融合到一起的工業(yè)技術(shù),伴隨著制作集成電路的硅半導(dǎo)體工藝的完善,20世紀(jì)80年代出現(xiàn)的微型機(jī)械、微型傳感器和微型執(zhí)行器的微機(jī)械制造技術(shù),使得MEMS技術(shù)成為現(xiàn)實(shí)產(chǎn)品,滿足不同需求的應(yīng)用領(lǐng)域。根據(jù)對MEMS-IMU精度要求不同,大概可將其分為低精度、中精度和高精度三類。


1、低精度MEMS-IMU


低精度MEMS-IMU主要用于消費(fèi)電子類的產(chǎn)品,其應(yīng)用范圍極為廣泛,可用于手機(jī)、游戲機(jī)、音樂播放器、無線鼠標(biāo)、數(shù)碼相機(jī)、硬盤保護(hù)器、智能玩具、計(jì)步器、防盜系統(tǒng)等。與環(huán)境傳感器等器件結(jié)合,可實(shí)現(xiàn)助聽、運(yùn)動(dòng)感測等功能。這類低精度的MEMS-IMU主要要求是:單價(jià)低、尺寸小、溫度范圍窄。


低精度MEMS-IMU:加速度計(jì)尺寸小、重量輕、功耗低,一般測量范圍1~50g,分辨率2mg~10mg,陀螺儀一般量程在±300°/s,零偏在500°/h~1000°/h范圍內(nèi)。


2、中精度MEMS-IMU


相比低精度MEMS-IMU,中精度MEMS-IMU主要用于汽車級及工業(yè)級產(chǎn)品。


在汽車級產(chǎn)品中,中精度MEMS-IMU不僅可用于GPS 輔助導(dǎo)航系統(tǒng),而其對于車電子穩(wěn)定系統(tǒng)、汽車安全氣囊、車輛姿態(tài)測量也有奇效。例如IMU可以用作高精度定位、汽車自身姿態(tài)的判斷,即使在GPS信號(hào)丟失或有阻隔的情形中,IMU也可為汽車提供可靠的信息,這便可確保汽車主動(dòng)安全,是自動(dòng)駕駛的關(guān)鍵組件之一。再比如,近些年汽車車身穩(wěn)定系統(tǒng)的標(biāo)配ESP中,IMU就是其中的關(guān)鍵組件。汽車級可作為一個(gè)工業(yè)應(yīng)用的特殊產(chǎn)品,對其可靠性要求高,同時(shí)由于需求數(shù)量大,和一般工業(yè)要求不同的是要求單價(jià)低。


在工業(yè)級產(chǎn)品中,中精度MEMS-IMU可應(yīng)用于精密農(nóng)業(yè)、工業(yè)自動(dòng)化、大型醫(yī)療設(shè)備、機(jī)器人、儀器儀表、工程機(jī)械等。還記得,Atlas高端類人機(jī)器人驚人的平衡感嗎?那個(gè)摔倒了還可以自己爬起來的神奇機(jī)器人,其超強(qiáng)的平衡感要部分歸功于其體內(nèi)的IMU。說起在工業(yè)領(lǐng)域使用的慣性傳感器,大多以模塊形式出現(xiàn),對于應(yīng)用于工業(yè)級芯片級產(chǎn)品,還必須進(jìn)行處理,包括軟件和硬件電路,以及對不同工業(yè)環(huán)境的適應(yīng)性,大多數(shù)要求價(jià)格適中,精度要求要優(yōu)于應(yīng)用于消費(fèi)電子類的傳感器。


中精度MEMS-IMU:加速度計(jì)的量程選擇比較寬1~500g,分辨率1mg~3mg,陀螺儀量程大多250°/s以內(nèi),零偏在50°/h~200°/h范圍內(nèi)。


3、高精度MEMS-IMU


高精度IMU可解決復(fù)雜航空航天系統(tǒng)中慣性傳感器的部署難題,如航空電子系統(tǒng)所采用的IMU,滿足一切性能和可靠性目標(biāo)。高精度MEMS-IMU主要用于軍用級和宇航級產(chǎn)品,要求高精度、全溫區(qū)、抗沖擊等。主要應(yīng)用于通訊衛(wèi)星無線、導(dǎo)彈導(dǎo)引頭、光學(xué)瞄準(zhǔn)系統(tǒng)等穩(wěn)定性應(yīng)用、飛機(jī)和導(dǎo)彈飛行控制、姿態(tài)控制、偏航阻尼等控制應(yīng)用、以及中程導(dǎo)彈制導(dǎo)、慣性GPS導(dǎo)航等制導(dǎo)應(yīng)用、遠(yuǎn)程飛行器、船舶儀器、戰(zhàn)場機(jī)器人等。 級或宇航級的MEMS-IMU精度要求高、工作溫度范圍寬,某些兵器產(chǎn)品要求抗沖擊能力強(qiáng),尺寸要比光纖和機(jī)械類產(chǎn)品更小。


高精度MEMS-IMU:加速度計(jì)量程范圍比較寬1g~5000g,分辨率要0.1mg~1mg范圍內(nèi),甚至更高。陀螺儀量程要求范圍寬20°/s~1000°/s,頻率響應(yīng)高,要求在50Hz~1000Hz之間,零偏穩(wěn)定性在1°/h~50°/h范圍內(nèi)。


如今MEMS-IMU正在向更高集成度和更高精度的方向發(fā)展。其中MEMS陀螺儀的發(fā)展極為明顯,其性能也在接近或者已經(jīng)達(dá)到戰(zhàn)術(shù)級應(yīng)用的水平;而MEMS加速度計(jì)是商業(yè)市場化最為成功的,其精度已經(jīng)能夠滿足戰(zhàn)略導(dǎo)彈的應(yīng)用要求,但目前MEMS加速度計(jì)的精度水平還不是很高。MEMS慣性器件在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、制作工藝、集成化、電路設(shè)計(jì)、封裝及試驗(yàn)系統(tǒng)等方面還存在許多的問題,需要進(jìn)一步解決。


MEMS慣性傳感器的研究熱點(diǎn)和發(fā)展方向是精度高、環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)和多傳感器集成化等,其中MEMS慣性傳感器件的設(shè)計(jì)和制造元器件所需的生產(chǎn)工具也是一個(gè)重要的研究方向。


標(biāo)簽: 慣性測量單元

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