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基于機器學習的缺陷檢測精度提高技術研究 發(fā)布時間:2019-11-13   瀏覽量:2472次

自動化光學檢測技術已廣泛應用于工業(yè)場景,現(xiàn)有研究集中在理論模型和系統(tǒng)設計上。


在工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境中,對于不同類型和規(guī)格的產(chǎn)品,有必要根據(jù)產(chǎn)品缺陷的檢測及時調(diào)整檢測參數(shù)的閾值,以提高設備的檢測率。本文對采集設備檢測到的缺陷數(shù)據(jù)進行了實際研究。機器學習方法用于分析不同類型缺陷的檢測參數(shù)指標,以提高缺陷檢測的準確性。

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圖1:研究過程

我們以一家TFT-LCD工廠為研究對象,關鍵缺陷檢測現(xiàn)場使用自動光學檢測設備來實現(xiàn)面板缺陷檢測。研究過程如圖1所示。我們將AOI設備生成的數(shù)據(jù)收集并組織到數(shù)據(jù)庫中,然后分析數(shù)據(jù)的參數(shù),使用機器學習方法訓練和測試模型,最后應用研究結果到實際生產(chǎn)。

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圖2:源數(shù)據(jù)格式

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圖3:程序流程圖

每個面板的原始數(shù)據(jù)文件生成具有不同數(shù)據(jù)結構的多個缺陷數(shù)據(jù)文件,如圖2所示,該文件保存在本地主機中。由于數(shù)據(jù)存在于不同的文件中,因此我們需要使用面板名稱,檢測到的參數(shù)值和檢測結果來將它們收集并存儲在數(shù)據(jù)倉庫中。為了完成收集和組織數(shù)據(jù)的目標,我們編寫程序來完成此過程,程序流程圖如圖3所示。

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圖4:數(shù)據(jù)采集過程

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圖5:數(shù)據(jù)倉庫的數(shù)據(jù)結構

數(shù)據(jù)獲取過程如圖4所示,其結果表示在數(shù)據(jù)倉庫中,如圖5所示。

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圖6:缺陷和特征數(shù)據(jù)

獲得的特征數(shù)據(jù)需要使用適當?shù)墓ぞ邅磉M行分析和分類,以找到參數(shù)數(shù)據(jù)與缺陷之間的相關性。我們以兩種類型的缺陷為例,以缺陷的正確性作為結果,圖6僅顯示了缺陷與特征數(shù)據(jù)之間的關系。由于多因素參數(shù)的相互影響,因此應考慮使用PCA / ICA等方法進行數(shù)據(jù)選擇和特征提取的數(shù)據(jù)復雜性以及錯誤和無關信息的影響。

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圖7:訓練結果

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圖8:測試結果

在分析過程中,根據(jù)不同參數(shù)數(shù)據(jù)的特征,我們使用數(shù)據(jù)挖掘和機器學習算法,這些算法適合于為實現(xiàn)對不同缺陷的準確分類而選擇的數(shù)據(jù)特征。


在這種情況下,我們使用Weka SimpleKMeans方法進行簡單的訓練和測試,結果如圖7和圖8所示。


在實際的生產(chǎn)環(huán)境中,缺陷的檢測與許多因素有關。特征數(shù)據(jù)和特定缺陷之間的關系需要不斷測試和驗證。我們的目標是根據(jù)缺陷及其特征參數(shù)進行監(jiān)視和預警。同時,圖像數(shù)據(jù)的缺陷檢測需要這樣的處理流程,提取特征參數(shù)并提高檢測率。


標簽: 精度檢測

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